三星計(jì)劃投資10萬億韓元用于半導(dǎo)體設(shè)備并大量采購ASML EUV光刻機(jī)
Nov 15, 2023 pm 12:33 PM
三星計(jì)劃增加進(jìn)口更多ASML極紫外（EUV）光刻設(shè)備，這是根據(jù)韓國今日電子新聞的報(bào)道
盡管合同中的保密條款沒有透露具體細(xì)節(jié)，但根據(jù)證券市場的消息，這項(xiàng)協(xié)議將使得ASML在五年內(nèi)提供總共50套設(shè)備，每臺設(shè)備的單價(jià)約為2000億韓元（約合11.02億元人民幣），總價(jià)值可達(dá)10萬億韓元（約合551億元人民幣）
目前尚不清楚其合同中的產(chǎn)品是現(xiàn)有 EUV 光刻設(shè)備還是下一代“High NA EUV”光刻設(shè)備。不過，目前 EUV 光刻設(shè)備最大的問題是產(chǎn)量有限。據(jù)官方介紹，它“比衛(wèi)星部件還復(fù)雜”，每年只能生產(chǎn)很有限的數(shù)量。據(jù)說去年是 40 臺，今年 ASML 估計(jì)是 60 臺。而目前需要且能購買到 EUV 光刻設(shè)備的廠商有五家：三星電子、臺積電、英特爾、SK 海力士和美光。其中，臺積電約占供應(yīng)量的 70%，剩下四家公司爭奪剩下的 30%。
三星電子于去年 6 月推出了全球首個(gè)采用全柵極（GAA）技術(shù)的 3nm 代工技術(shù)，因此該公司一直在努力確保采購更多?EUV 光刻設(shè)備，目標(biāo)是在明年上半年進(jìn)入 3nm 世代的第二代工藝，在 2025 年進(jìn)入 2nm 工藝，在 2027 年進(jìn)入 1.4nm 工藝。
因此，李在镕董事長去年六月前往ASML總部，與首席執(zhí)行官Peter Bennink討論了EUV采購問題。在去年十一月訪問韓國期間，他與Bennink進(jìn)一步會談。考慮到EUV的交付周期至少需要一年，這些會議似乎取得了實(shí)際成果
實(shí)際上，半導(dǎo)體領(lǐng)域分析師也對三星電子增購 EUV 光刻設(shè)備的計(jì)劃持積極態(tài)度。
祥明大學(xué)系統(tǒng)半導(dǎo)體工程教授李鐘煥表示：“三星已經(jīng)引進(jìn)了數(shù)十臺EUV光刻設(shè)備，據(jù)說每臺設(shè)備的成本約為2000億韓元，這表明該公司有意擴(kuò)大3nm芯片的量產(chǎn)，并計(jì)劃在未來實(shí)現(xiàn)2nm的生產(chǎn)。”
三星電子之前宣布計(jì)劃到2025年擁有100臺EUV光刻機(jī)。市場估計(jì)目前三星擁有約40臺EUV機(jī)器。如果這50臺設(shè)備能夠如期交付，那么到2028年，三星將能夠擁有約100臺設(shè)備
荷蘭應(yīng)用科學(xué)研究所（TNO）的韓國代表樸炳勛解釋道：“一般情況下，半導(dǎo)體工藝可以將每臺機(jī)器的10%用于工藝研發(fā)和測試，擁有100臺機(jī)器意味著它們可以全天候用于研發(fā)。”
他還指出，“通過這樣做，我們將能夠確保有足夠的工藝能力來正確使用設(shè)備”，他補(bǔ)充說，“ 預(yù)計(jì)這將減少工藝過程中的時(shí)間和成本，并提高產(chǎn)量?！?/p>
“一旦我們擁有了大量的（EUV）設(shè)備，并且技術(shù)趨于穩(wěn)定，我們將能夠提高產(chǎn)量，并在代工方面取得進(jìn)展” ，工業(yè)研究所的專家研究員金陽邦（Kim Yang-pang）說。
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