光阻用於將電路設(shè)計圖案轉(zhuǎn)移到晶圓，是半導(dǎo)體製造的關(guān)鍵材料。它的作用是將受光部分變成不溶於顯影劑，從而實現(xiàn)圖案轉(zhuǎn)移。根據(jù)光敏性，光阻分為正性（用於製作電路線條）和負性（用於製作電路空間）。它廣泛應(yīng)用於積體電路、微電子裝置、印刷電路板和光學儀器製造等領(lǐng)域。
光阻的作用
#光阻是半導(dǎo)體製造過程中用來製作積體電路的關(guān)鍵材料。它的作用是將電路設(shè)計圖案轉(zhuǎn)移到晶圓上。
光阻的原理
光阻是對紫外光或電子束敏感的有機聚合物。當光照射到光阻上時，聚合物被交聯(lián)，變得不溶於顯影劑。未照射的部分則保持可溶狀態(tài)。
光阻的製造流程
光阻的製造流程包括以下步驟：
- 合成聚合物
- #加入光敏劑
- 將聚合物溶解於溶劑中
- 過濾和除氣
- 塗覆到晶圓上
光阻的類型
根據(jù)光阻對光的敏感性，可分為正性光阻與負性光阻：
- 正性光阻：照射後形成的聚合物變得不溶於顯影劑，用於製作電路線條。
- 負性光阻：照射後形成的聚合物變得可溶於顯影劑，用於製作電路空間。
光阻的應(yīng)用
光阻廣泛應(yīng)用於：
- 積體電路製造
- #微電子裝置製作
- 印刷電路板製造
- 光學儀器製造
以上是光阻的作用的詳細內(nèi)容。更多資訊請關(guān)注PHP中文網(wǎng)其他相關(guān)文章！
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